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產品詳情
  • 產品名稱:典型干涉儀配置

  • 產品型號:verifire等
  • 產品廠商:美國ZYGO
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
配置向導用簡潔的圖示和說明介紹了幾種ZYGO干涉儀的*常用的配置
詳情介紹:


典型干涉儀配置

本頁主要介紹常用的干涉儀測量配置

平面測量
Graphic - GPI? Setup for Plano Optic Measurement平面測量裝置用于測量反射平面鏡、透鏡和窗片。被測物體必須放在專用夾具上以便于對被測面進行傾斜調整,比如用ZYGO的兩維調整架和自中心夾具放置和調整樣品。



透射波陣面測量
Graphic - GPI? Setup for Transmitted Wavefront Measurement此裝置用于測量透射平面波前畸變。 常用于對窗片、濾光片和透鏡等的測量。另外,也可用于檢測玻璃、透明材料的均勻性。測量光束通過被測樣品,只需要將樣品放在與光軸近似垂直的位置,不需要特殊的調整。



球面測量凸面
Graphic - GPI? Setup for Convex Surface Measurement此裝置用于凸面樣品的面形測量。選擇合適的球面標準鏡必須滿足如下條件:首先,被測凸球面的曲率半徑必需小于球面標準鏡的后焦距,其次,被測樣品的曲率半徑與通光孔徑的比值(R/number)必須小于等于球面標準鏡的F/number。三維調整架用來調節被測樣品。


球面測量凹面
Graphic - GPI? Setup for Concave Surface Measurement球面標準鏡用于將干涉儀輸出平面波變為球面波,用于對球面樣品和透鏡的測量。測量時,被測樣品凹面的曲面中心必須與球面標準鏡的焦點**重合,使用GPI?的快速獲得條紋系統可以只用幾秒的時間調整好樣品的位置。三維樣品調整架用于調節被測樣品。



透鏡/光學系統質量測量
Graphic - GPI? Setup for Lens/System Measurement通過檢測透射波前畸變可以檢測透鏡和光學系統質量,對于聚焦于無限遠的透鏡系統,測量時與干涉儀位置如圖所示,需用一個高精度的凸球面或者凹球面將光束反射回干涉儀,通過轉動被測透鏡光軸,波束角的變化可以被檢測。


透鏡/光學系統質量測量另一種方法
Graphic - GPI? Setup for Lens/System Measurement對于無限共軛的透鏡或者光學系統,尤其對于大于干涉儀測量光束直徑的透鏡系統,可以用這種方法檢測,如圖所示。此方法對于樣品的調整要求更高,可能會由于未準確校準而引入誤差。



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