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蘋果,還是橙子?

日期:2025-04-30 15:24
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摘要: 蘋果,還是橙子? 沒錯,各位親,今兒咱們從“蘋果”和“橙子”開始嘮。。。 英文中“Apple and orange”,是一個習慣用語;說的是事物之間沒有可比性,有點像中文的“風馬牛不相及”。 然而這蘋果和橙子,到底有何不同?讓我們用ZYGO白光輪廓儀看個究竟吧。 測試方式如上圖,測試配置如下: ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀; 10X干涉物鏡,2.5mm*2.5mm范圍內拼接; 數據分析使用0.008mm-0.8mm帶通濾波 上圖是測試結果。各位親猜猜看,哪個是蘋果,哪個又是...

蘋果,還是橙子?

沒錯,各位親,今兒咱們從“蘋果”和“橙子”開始嘮。。。

英文中“Apple and orange”,是一個習慣用語;說的是事物之間沒有可比性,有點像中文的“風馬牛不相及”。

然而這蘋果和橙子,到底有何不同?讓我們用ZYGO白光輪廓儀看個究竟吧。

測試方式如上圖,測試配置如下:

ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀;
10X干涉物鏡,2.5mm*2.5mm范圍內拼接;

數據分析使用0.008mm-0.8mm帶通濾波

上圖是測試結果。各位親猜猜看,哪個是蘋果,哪個又是橙子呢?

 

做3D表面形貌分析時,往往用光譜顏色變化,來輔助標識高度。通常以藍色表示相對低的區域,而沿著光譜,自藍色向紅色變化,就代表著高度相對增加。

再看這兩個表面,左圖色彩斑斕,看起來有點“糙”,是不是?。。。

不過這兩個結果沒有標識測試區域大小,可能有陷阱哦,畢竟宏觀和微觀視角下,表面形貌可能大有不同呢。

那讓我們標識橫向尺寸吧:

橫向尺寸標注好了,兩個結果視場范圍都是:2.5mm*2.5mm。嗯,看起來左圖“毛毛糙糙”,是不是。。。?

 

等下,雖然橫向尺寸標注了,可縱向高度沒有單位,以上兩圖形貌的起伏變化,實際代表分別是多高呢?

 

那讓我們標識縱向尺寸吧:

哈,這下有些眉目了。原來在左圖里,紅色代表的*高點是+10um,藍色代表的*低點時-10um;而右圖的紅色高點代表+100um,藍色低點代表-100um。

 

右圖的形貌高低起伏,范圍是~200um;實際 是左圖~20um的十倍。看來,誰是蘋果,誰是橙子有線索了。

 

由于“色譜標識高度”時,一般默認采用自動適應動態范圍的方式,總是用紅色標識*高點,藍色表示*低點,而不是以實際高度改變顏色,所以左圖會給人一個錯覺,“顏色變化更劇烈,好像是更粗糙”。

 

那讓我們改變色譜標識自適應動態范圍的方式,將色譜標識范圍手動設定到+/-100um吧:

哈哈,這下藏不住了!

 

在ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀同樣的測試區域,同樣的高度標尺,同樣的色譜變化范圍設置下,可以一目了然地從形貌起伏,顏色變化,看出哪個更光滑,那個更粗糙了!

 

總結一下:

 

各位親,雖然3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀;但橫向測試范圍,縱向高度尺度也很關鍵,否則可能會指鹿為馬哦!

 

滬公網安備 31011502007567號

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